Piezoelectric MEMS Speaker
Application ID: 78021
This model analyzes a piezoelectric microelectromechanical system (MEMS) speaker. The speaker, composed of four triangular membranes, uses a layer of lead zirconate titanate (PZT) material with two electrodes on top of a silicon layer as actuators. The triangular membranes are separated by narrow gaps of air that allow for larger deflections of the membrane. The thermoviscous losses in the gaps limit the airflow, thus allowing the four actuators to behave acoustically as a single membrane.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
- COMSOL Multiphysics® und
- Acoustics Module und
- entweder AC/DC Module, MEMS Module, Plasma Module, oder Semiconductor Module
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.