Tunable MEMS Capacitor
Application ID: 123
The electrostatically tunable parallel plate capacitor in this example is a typical component in various MEMS devices for radio frequencies that range between 300 MHz and 300 GHz. You can modify the distance between the two plates, as the applied voltage changes, through a spring attached to one of the plates. A postprocessing step then computes the capacitance.
The example uses the Electrostatics, Boundary Elements interface, which is based on the boundary element method (BEM), for this simulation. This interface negates the need for defining a finite modeling domain and boundary as well as meshing the thin volume of the capacitor.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
- COMSOL Multiphysics® und
- entweder AC/DC Module, oder MEMS Module
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.