Thermal Microactuator Simplified
Application ID: 16357
This example model consists of a two-hot-arm thermal actuator made of polysilicon. The actuator is activated through thermal expansion. The temperature increase required to deform the two hot arms, and thus displace the actuator, is obtained through Joule heating (resistive heating). The greater expansion of the hot arms, compared to the cold arm, causes a bending of the actuator.
The material properties of polysilicon are temperature dependent, which means that the involved physics phenomena are fully coupled. The actuator’s operation thus involves three coupled physics phenomena: electric current conduction, heat conduction with heat generation, and structural stresses and strains due to thermal expansion.
This example uses the physics interfaces from the base package of COMSOL Multiphysics, and then manipulates them using the Equation View feature.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.