MEMS Pressure Sensor Drift Due to Hygroscopic Swelling
Application ID: 21021
Modern integrated circuits are available as plastic encapsulated microcircuits (PEM). These devices are molded out of polymeric materials and epoxy resins in order to protect the internal semiconductors. Unfortunately, polymeric mold compounds absorb moisture when exposed to a humid environment, thus swelling and causing undesired strains, which can be as high as thermal strains.
This application studies the moisture diffusion across the mold compound that protects a MEMS pressure sensor. The hygroscopic swelling induced by the moisture diffusion induces a drift in the measured characteristics of the sensor.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.