Global Model Coupled with the Two-Term Boltzmann Equation
Application ID: 67411
The electron energy distribution function (EEDF) plays an important role in the overall behavior of discharges. In this example, the formation period of an Argon plasma is studied with special attention paid to the EEDF. The plasma is created within a 4 cm gap by a DC source voltage of 1 kV at 100 mTorr. A global model in the local field approximation is used to describe the temporal evolution of the plasma species. The rate coefficients for electron impact reactions and electron mobility are obtained from suitable integration of cross sections over the EEDF, and the EEDF is computed at every time step using the Boltzmann equation in the two-term approximation.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.