GEC ICP Reactor Coupled with the Two-Term Boltzmann Equation
Application ID: 73651
This tutorial models an ICP reactor by solving plasma fluid type equations fully coupled with the homogeneous and time-independent electron Boltzmann equation in the classical two-term approximation. The approximated Boltzmann equation is solved for each position of space and is coupled with the fluid type equations by way of the electron mean energy. The rate constants of electron impact reactions and the electron transport parameters are obtained by suitable integration of the computed electron energy distribution function over electron scattering cross sections.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.