Dipolar Microwave Plasma Source
Application ID: 10512
This model presents a 2D axisymmetric dipolar microwave plasma source sustained through resonant heating of the electrons. This is known as electron cyclotron resonance (ECR), which occurs when a suitable high magnetic flux density is present along with the microwaves.
This is an advanced model that showcases many of the features that make COMSOL unique, including:
- Infinite elements for the magnetostatic model.
- Functional-based mesh adaption to create a fine mesh on the ECR surface.
- PMLs for the electromagnetic waves to represent
- Degrees of freedom for all 3 components of the high-frequency electric field despite the fact that the problem is geometrically axisymmetric.
- Full anisotropic tensors for the plasma conductivity and charged particle transport properties.
- Resonant power absorption in the ECR surface by the electrons.
- Equation-based modeling using integrated quantities to fix the total absorbed power.
- Solver sequencing to first compute the static magnetic field, then solve for all the plasma components.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
- COMSOL Multiphysics® und
- AC/DC Module und
- Plasma Module und
- RF Module
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.