A 2D Biased Resonator: Stationary, Eigenfrequency, Frequency Domain, and Pull-In Analyses
Application ID: 11751
Silicon micromechanical resonators have long been used for designing sensors and are now becoming increasingly important as oscillators in the consumer electronics market. In this series of models, a surface micromachined MEMS resonator, designed as part of a micromechanical filter, is analyzed in detail.
The Stationary Analysis of a Biased Resonator model performs a stationary analysis of the resonator, with an applied DC bias. It is used as a basis for all the subsequent analyses, briefly described below.
- The Frequency Response of a Biased Resonator model performs frequency domain analysis of the structure, which is also biased with its operating DC offset.
- The Normal Modes of a Biased Resonator model performs a modal analysis on the resonator, with and without an applied DC bias.
- The Pull-in Voltage for a Biased Resonator model performs a pull-in analysis of the structure, to predict the point at which the biased system becomes unstable.
- The Transient Response of a Biased Resonator model performs a transient analysis of the response of the structure when a step function is applied to the resonator.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
- COMSOL Multiphysics® und
- entweder AC/DC Module, oder MEMS Module und
- entweder MEMS Module, oder Structural Mechanics Module
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.