Modelle für die Halbleiterfertigung
Um zu zeigen, wie die Software COMSOL Multiphysics® für die Modellierung von Bauelementen, Prozessen und Anlagen für die Halbleiterfertigung verwendet werden kann, erstellen wir regelmäßig Beispielmodelle und andere Leitfäden. Stöbern Sie in dieser Ressourcensammlung und sehen Sie sich Add-On-Vorschläge an.
COMSOL-Modelle
Alle Dokumentationen und MPH-Dateien können über die untenstehenden Links kostenlos heruntergeladen werden. Sie benötigen jedoch eine Lizenz oder eine Testversion der COMSOL®-Software, um die MPH-Dateien öffnen zu können. Die Beispiele können als Ausgangspunkt für Ihre eigene Simulationsarbeit oder einfach als Inspiration dienen.
Waferherstellung
Epitaktisches Wachstum von SiC durch die PVT-Methode
Fotolack-Rotationsbeschichtung
Czochralski-Verfahren
Heizkreislauf
Fertigung
ICP-Reaktor
GEC-CCP-Reaktor
Argon/Chlor-ICP-Reaktor mit HF-Vorspannung
Chemische Gasphasenabscheidung im Ultrahochvakuum
Mikrolithographie-Linse
Laser-Erhitzung eines Silizium-Wafers
Chemisches Ätzen
Ionenimplantations-Vakuumsystem
Packaging & Tests
IGBT-Modul: Vier-Punkt-Biegetest
IGBT-Modul: Spannungsanalyse unter HAST-Bedingungen
Vorkonditionierung von SMDs
Reflow-Löten
Viskoplastisches Kriechen in Lötstellen
Bauelemente
Trench-Gate-IGBT
Bipolartransistor
MOSFET
Spezielle Produkte
Alles beginnt mit COMSOL Multiphysics®, der Plattform für die Erstellung physikbasierter Modelle und Simulations-Apps. Davon ausgehend können Sie so viele spezialisierte Module und Interfaces hinzufügen, wie Sie benötigen – sie alle sind nahtlos über die Plattform verbunden und ermöglichen einen konsistenten Modellierungs-Workflow, unabhängig davon, was Sie modellieren.
Hier sind einige Produktvorschläge, die Sie zu COMSOL Multiphysics® hinzufügen können, um Halbleiterfertigungsanlagen und -prozesse sowie Halbleiterbauelemente zu modellieren:
Flexible Lizenzoptionen
COMSOL bietet eine Vielzahl von Lizenztypen an, um den Anforderungen verschiedener Organisationen und Teams gerecht zu werden.