SAW-Gassensor

Application ID: 2129


Eine akustische Oberflächenwelle (surface acoustic wave, SAW) ist eine akustische Welle, die sich entlang der Oberfläche eines festen Materials ausbreitet. Ihre Amplitude nimmt in der Tiefe des Materials schnell, oft exponentiell, ab.

SAWs werden in vielen Arten von elektronischen Komponenten verwendet, darunter Filter, Oszillatoren und Sensoren. Bei SAW-Bauteilen werden in der Regel Elektroden auf ein piezoelektrisches Material aufgebracht, um ein elektrisches Signal in ein SAW-Signal umzuwandeln und dann wieder zurück. Die SAW-Antwort liefert die Informationen, die mit dem Gerät erfasst werden sollen.

Dieses Modell untersucht die Resonanzfrequenzen eines SAW-Gassensors. Der Sensor besteht aus einem interdigitalen Wandler, der auf ein piezoelektrisches Substrat geätzt und mit einem dünnen Film überzogen ist. Die Masse des Films nimmt zu, wenn sein Material selektiv eine chemische Substanz aus der Luft adsorbiert. Dies führt zu einer Verschiebung der Resonanz zu einer etwas niedrigeren Frequenz und damit zu Informationen über die Menge der Spezies in der Luft.

Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden: