SAW-Gassensor
Application ID: 2129
Eine akustische Oberflächenwelle (surface acoustic wave, SAW) ist eine akustische Welle, die sich entlang der Oberfläche eines festen Materials ausbreitet. Ihre Amplitude nimmt in der Tiefe des Materials schnell, oft exponentiell, ab.
SAWs werden in vielen Arten von elektronischen Komponenten verwendet, darunter Filter, Oszillatoren und Sensoren. Bei SAW-Bauteilen werden in der Regel Elektroden auf ein piezoelektrisches Material aufgebracht, um ein elektrisches Signal in ein SAW-Signal umzuwandeln und dann wieder zurück. Die SAW-Antwort liefert die Informationen, die mit dem Gerät erfasst werden sollen.
Dieses Modell untersucht die Resonanzfrequenzen eines SAW-Gassensors. Der Sensor besteht aus einem interdigitalen Wandler, der auf ein piezoelektrisches Substrat geätzt und mit einem dünnen Film überzogen ist. Die Masse des Films nimmt zu, wenn sein Material selektiv eine chemische Substanz aus der Luft adsorbiert. Dies führt zu einer Verschiebung der Resonanz zu einer etwas niedrigeren Frequenz und damit zu Informationen über die Menge der Spezies in der Luft.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
- COMSOL Multiphysics® und
- entweder Acoustics Module, MEMS Module, oder Structural Mechanics Module
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.