Piezoresistiver Drucksensor, Schale
Application ID: 12629
Piezoresistive Drucksensoren waren einige der ersten MEMS-Bauelemente, die auf den Markt kamen. Im Vergleich zu kapazitiven Drucksensoren sind sie einfacher in die Elektronik zu integrieren, ihr Ansprechverhalten ist linearer und sie sind von Natur aus vor HF-Rauschen geschützt. Sie benötigen jedoch in der Regel mehr Strom während des Betriebs und die Grundrauschgrenzen des Sensors sind höher als bei ihren kapazitiven Gegenstücken. In der Vergangenheit waren piezoresistive Geräte auf dem Markt für Drucksensoren dominant.
In diesem Beispiel wird das Design der Drucksensoren der Serie MPX100 betrachtet, die ursprünglich von Motorola Inc. (jetzt Freescale Semiconductor, Inc.) hergestellt wurden. Obwohl der Sensor nicht mehr produziert wird, wird eine detaillierte Analyse seines Designs gegeben und ein archiviertes Datenblatt ist von Freescale Semiconductor Inc. erhältlich.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.