Copper Deposition in a Trench Using the Level Set Method
Application ID: 48781
The present model example is based on Copper Deposition in a Trench model available in Electrodeposition Application Library.
The nonuniform deposition along the trench surface leads to formation of a cavity/void. Since the Deformed Geometry interface cannot handle topological changes, the original model cannot be extended to simulate deposition after cavity formation.
In the present model, the Level Set interface is used instead of the Deformed Geometry interface to simulate depostion also after the cavity has formed. The electrode kinetics at the deposition boundary is defined as a domain term making use of the delta function from the Level Set interface. The model results obtained from the level set formulation before the cavity has formed match well with the original model.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
- COMSOL Multiphysics® und
- entweder Battery Design Module, Corrosion Module, Electrochemistry Module, Electrodeposition Module, oder Fuel Cell & Electrolyzer Module und
- entweder CFD Module, Corrosion Module, Electrodeposition Module, Microfluidics Module, Polymer Flow Module, oder Porous Media Flow Module
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.