Alpha to Gamma Transition
Application ID: 55291
Capacitively coupled RF discharges can operate in two distinct regimes depending on the discharge power. In the low power regime, known as the alpha regime, the electric field oscillation is responsible to heat and create electrons. In the high power regime, known as gamma regime, the discharge is sustained primarily by electron avalanche within the sheaths initiated by secondary electrons emitted by ion bombarding the electrodes. This model investigates the alpha and gamma regimes and the transition between them in a capacitively coupled RF discharge at atmospheric pressure using the Plasma, Time Periodic interface.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.